广东平板显示及半导体产业再添新动能。3月18日，深圳清溢光电股份有限公司（下称“清溢光电”）平板显示及半导体用掩膜版生产基地项目开工仪式在佛山南海举行。该项目总体投资约35亿元，将建设平板显示配套掩膜版生产线和半导体IC配套掩膜版生产线，实现250-28nm光掩膜版量产，满足8寸和12寸晶圆厂掩膜版需求。

掩膜版是平板显示、半导体等行业生产制造过程中的关键材料，清溢光电则是国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一。本次在佛山南海开工的项目，包括高精度掩膜版生产基地建设项目、高端半导体掩膜版生产基地建设项目。

在平板显示掩膜版方面，清溢光电目前已实现8.6代高精度掩膜版及6代中高精度AMOLED/LTPS掩膜版的量产。“该项目一期主要生产8.6代及以下高精度掩膜版，应用于a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO、MicroLED等平板显示掩膜版产品。”清溢光电董事、总经理吴克强介绍说，接下来还将在佛山建设侧重于高精度平板显示掩膜版的研发与生产，“直面全球显示技术变革。”

在半导体芯片掩膜版方面，清溢光电的产品已实现150nm工艺节点的产品客户测试认证，正在推进130nm-65nm的PSM和OPC工艺的掩膜版开发，以及28nm半导体芯片所需的掩膜版工艺开发规划。在佛山建设的“高端半导体掩膜版生产基地建设项目”将着眼于半导体掩膜版的生产，该项目一期实现并覆盖250nm-65nm制程的高端半导体掩膜版。

新型显示和半导体产业是升级新型消费、壮大数字经济、发展新质生产力的重要产业领域。《广东省培育半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划（2023—2025年）》提出，到2025年，尽快形成穗莞深惠和广佛中珠两大发展带，使珠三角地区建设成为具有国际影响力的半导体及集成电路产业集聚区。

“项目落地有助于推动广东尤其是佛山的新型显示及半导体产业集聚化、链条化发展，打造产业高质量发展的新增长点。”吴克强表示。

以平板显示掩膜版为例，项目建成后将带动石英玻璃材料、掩膜版用保护膜、平板显示器件生产专用设备等上游产业发展，并推动下游彩色滤光片、触控面板、液晶面板产业进步，进而拉动终端应用产品如笔记本电脑、台式显示器、液晶电视等下游产业发展。

“全球平板显示和半导体市场前景广阔，佛山南海生产基地将成为国内一流的行业生产基地，引领国产半导体掩模版技术创新，为中国乃至全球平板显示及半导体产业的进步贡献力量。”清溢光电董事、半岛针织厂有限公司执行董事唐嘉盛说。

【记者】曾良科 昌道励 熊程

【通讯员】黄丹 傅梦娟